FeRAM
FeRAM（FRAM、強誘電体メモリ）の基本動作や、高速書き込み・高書換え耐性・低消費電力といった優れた特性のメカニズムを詳しく解説します。さらに、その特性を支えるPZT強誘電体膜の成膜技術やHZOの研究開発など、製造の裏側にある技術革新も解説します。
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